无尘室无尘车间的等级标准
先说什么是无尘室，无尘室就是把压力，温度，湿度，气流的分布和尘埃还有速度，控制在一定范围内的一个空间。
而关于他等级标准是依据美国联邦颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，无尘室的等级是用在一定尘粒的尺寸的级数来表示的。制造集成电路所需要的无策划你是的洁净度就必须高于1000级，联邦规格的等级中Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级○○]。比如说：等级10是指空气中俺有10个0.5以下的时候。自然界大气中一般含有的微粒是在300000到30000000个。
在jis的标准下，无尘室的洁净度有8个等级，也就是说：在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3，一次类推。而一般洁净度就是指空气的洁净等级。
设置消毒运行模式的目的是利用洁净的空气对室内的灰尘和有害物体进行清洗，使室内空气满足净化要求，达到净化指标，以便投入生产。除尘是采用多级空气过滤器的方式实现的，而杀菌则可以采用多种方式，如涂光备在《制药工业的洁净与空调》一书中介绍的紫外线杀菌灯就是其中的一种常见的杀菌方式，而本文介绍的是采用臭氧发生器杀菌的方式。臭氧发生器更适合于集中式净化空调系统，因为根据杀菌区域的容积大小选定合适的臭氧发生器，可以直接设置在净化空调机组内或送风管道内，在杀菌过程中臭氧发生器连续产生臭氧分子，不断地对洁净区域内的空气进行杀菌处理。
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